LVH-T15重载型主动隔振平台

描述

LVH-T15重载型主动隔振平台是一款专为透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)研发的重载主动隔振平台，采用电磁作动器与四级空气弹簧复合技术,实现1-200Hz全频段振动抑制。通过六自由度主动补偿技术，消除0.5-5Hz建筑摇摆对成像系统的干扰。

核心优势：
消除1μm级低频微振动（符合ISO 14644-1 Class4标准）
500kg超大承载能力（刚度偏差＜0.8%）
支持在线模态分析（内置FFT频谱诊断模块）
智能控制系统：
32位DSP数字信号处理器
六轴惯性测量单元（分辨率0.001°）
自适应前馈控制算法
控制性能：
位移补偿精度：±5um(Z轴)/±10um(XN轴)
谐波抑制能力：＞25dB(50-100Hz设备共振)
温度漂移补偿：±0.1um/℃(内置PT1000传感器)
混合隔振系统:
电磁作动器阵列（响应时间≤30ms）
复合式空气弹簧（固有频率≤1.5Hz）
复合材料阻尼器
应用领域：
精密计量：原子力显微镜（AFM）（扫描速度提升至20Hz）
半导体检测：聚焦离子束系统（FIB）束流稳定性提高45%
生命科学：冷冻电镜（CryoEM）（三维重构分辨率+30%）
材料科学：球差校正透射电镜（点分辨率提升至0.07nm）

技术参数 ：
外形尺寸（长宽高）mm：   1140X910X220mm（L×W×H）
有效台面（mm）：                 1000×800mm（精密磨削平面）
自重（kg）：                             350kg（含控制系统）
隔振带宽：                                  200Hz（六自由度）
低频衰减能力：                        ＞35dB@5Hz（对应90%隔振效率）
承载平面稳定性：                   ＜±2μm/m·Hz (0.150Hz)
动态响应特性：                         30ms阶跃扰动抑制（0100%负载）
气路系统：                                  0.6MPa压缩空气（耗量0.5m3/h）
通讯接口：                                  RS232+EtherCAT双协议
安装基准：                                 ≤0.05mm/㎡平面度（花岗岩基准）
环境要求：
气源压力：                                 0.5-0.8MPa（洁净干燥空气）
接地阻抗：                                ＜2Ω（独立接地点）
电磁兼容：                                 10V/m@10kHz-1GHz（符合EN55011）

选型配置：
基础款：单台隔振单元（适配单电镜系统）
扩展款：双联装系统（支持多探头联用）
定制款：超低振动版（＜0.1μm/s振动速度）