VCM-S400主动隔振条

描述

VCM-S400主动隔振条（VCM系列）采用多自由度主动补偿技术，专为精密仪器研发的模块化隔振解决方案。通过并联式作动器阵列（2-6组可扩展配置），在1-200Hz频段内实现六自由度振动同步抑制，消除环境振动对超敏设备的干扰。

模块化设计：
支持S400/D400/D600多型号混联
热插拔式结构（更换单元＜10分钟）
冗余控制通道（双DSP并行运算）
智能振动管理：
压电式加速度传感器（灵敏度100mV/g)
压电式作动器（峰值推力±12N)
自适应前馈控制算法（带宽0.1-500Hz）
核心价值：
1Hz超低频隔振启动（突破传统被动隔振极限）
六自由度解耦补偿（横纵比误差＜0.5%）
动态负载适应（±30%载荷波动自动修正）
专项性能：
VCM-S400 扫描探针显微镜专用（抗电磁干扰设计）
VCM-D400 激光干涉仪适配（亚微米级相位稳定）
VCM-D600 重载共聚焦系统（最大承载800kg）
应用领域：
精密制造：全系列组合（加工面粗糙度≤Ra 0.8nm)
生物成像：VCM-D600共聚焦信噪比提高4dB
广策检测：VCM-S400（AFM扫描速度提升35%）
纳米计量：VCM-D400（干涉条纹稳定度达λ/200）

技术参数/型号：    VCM-S400
外形尺寸(mm)：    400X120X120
单模块重量(kg)：  7.6
安装间距(mm)：    600-800
承载能力(kg)：       50-300
有效隔振频段：      200Hz （全自由度覆盖）
隔振效率：              ＞90%@5Hz，＞95%@10Hz （RMS值衰减）
动态响应时间：     20ms （阶跃扰动抑制）
台面稳定性：         ＜0.3μm/√Hz （150Hz 频段）
功率特性：              220V±10%，50W （待机<8W）
环境适应性：         5℃-40℃ （带温度补偿功能）
安装要求
基础平面度：      ≤0.5mm/㎡（花岗岩或钢制基准面）
环境振动：          ＜0.5μm/s（未隔振状态）
接地标准：           独立接地＜4Ω（铜带截面积）≥16m㎡