TA800桌式主动隔振台

描述

TA800桌式主动隔振台（TA系列）专为精密仪器研发的智能隔振平台，采用主动阻尼矩阵与被动隔离层复合技术，在1-200Hz宽频段内实现六自由度振动抑制。紧凑型航空铝机身(厚度仅100-115mm)适配实验室空间限制，全自动高度调节系统可在±5mm范围内实时补偿负载变化。

专业性能：
智能动态调平：位移传感+气浮执行器，30秒内完成载荷匹配
宽频振动抑制：＞5Hz频段90%衰减率，＞10Hz频段95%衰减率
工业级可靠性：IP42防护等级，7×24小时连续运行设计
应用领域：
光学检测：波前分析仪/激光干涉仪（波像差检测重复性达λ/100）
量子科技：原子干涉仪/超导量子芯片干涉条纹稳定度提升60%
生物医疗：冷冻电镜/双光子显微镜（图像分辨率提升至0.5nm级）
精密制造：白光干涉仪/纳米压印机（表面粗糙度测量误差＜0.1nm）

型号/参数：                       TA800
尺寸（长宽高）mm：  800X600X115
有效台面（mm）：         750X550
负载（kg）：                     200
适用设备类型：               晶圆检测仪 飞秒激光系统
隔振带宽：                         200Hz （六自由度）
隔振效率：                        ＞90%@5Hz, ＞95%@10Hz
响应速度：                        10-20ms （阶跃扰动抑制）
承载平面度：                   ≤0.05mm/㎡安装基准面）
功率特性：                        220V±10%, 50W（待机＜15W）
环境适应性：                   5℃-40℃ （带温度补偿功能）
安装要求：
基础振动：＜500Hz频段内振动幅度＜5μm
接地阻抗：＜4Ω（独立接地端子）
水平基准：安装面平面度需达0级大理石平台标准”
适配场景 ：
地面振动RMS值＞2μm/s的实验室
需ISO Class 5洁净等级的检测环境
设备重量50kg以下的超精密仪器