什么是主动隔振:主动隔振技术全揭秘

什么是主动隔振:主动隔振技术全揭秘

什么是主动隔振?

主动隔振是一种通过实时监测振动并主动施加反向力来抵消振动的技术。与被动隔振依赖材料弹性阻隔振动不同,主动隔振通过传感器、控制器和作动器组成闭环系统,能精准识别并抑制低频至高频振动,尤其适合对稳定性要求极高的精密设备。

主动隔振的核心原理

其核心在于“感知-计算-补偿”闭环:传感器实时采集振动数据,控制器快速分析振动频率与方向,作动器立即产生反向力抵消振动。例如,立得泰隔振的TA800桌式主动隔振台采用主动阻尼矩阵与被动隔离层复合技术,在1-200Hz宽频段实现六自由度振动抑制,隔振效率>90%@5Hz,确保晶圆检测、飞秒激光系统等设备的稳定性。

TA800桌式主动隔振台实物图

主动隔振的应用场景

主动隔振广泛应用于半导体制造、量子科技、生命科学等领域。例如,立得泰隔振的LVH-T15重载型主动隔振平台专为TEM/SEM设计,通过电磁作动器与四级空气弹簧复合技术,消除0.5-5Hz建筑摇摆干扰,提升冷冻电镜分辨率与FIB束流稳定性,成为重载精密仪器的理想选择。

LVH-T15重载型主动隔振平台实物图

总结

主动隔振通过主动干预实现振动抑制,其高精度、宽频段特性使其成为高端实验室与工业场景的核心技术。立得泰隔振凭借TA800与LVH-T15等创新产品,为精密设备提供全频段、六自由度的振动解决方案,推动隔振技术向更高性能迈进。