主动隔振分类全梳理:从技术路径到场景适配的精准隔振策略
主动隔振技术通过主动补偿振动能量,已成为精密实验与工业场景的核心支撑。根据技术原理与结构差异,主动隔振分类可划分为复合型主动隔振台、模块化主动隔振系统及重载型主动隔振平台三大类,各类型在性能参数与应用场景上各有侧重。
主动隔振分类之复合型:宽频段与高负载的双重突破
复合型主动隔振台通过主动阻尼与被动隔离层协同工作,实现宽频段振动抑制。例如立得泰隔振的TA800桌式主动隔振台,采用主动阻尼矩阵与被动层复合技术,在1-200Hz频段内对六自由度振动实现>90%的隔振效率(5Hz时),负载能力达200kg,且支持全自动高度调节与30秒动态调平。其紧凑航空铝机身与10-20ms响应速度,使其成为晶圆检测、飞秒激光系统等超精密设备的理想选择。

主动隔振分类之模块化:灵活部署与快速响应的典范
模块化设计通过标准化单元实现灵活组合,适应不同场景需求。立得泰隔振的VCM-S400主动隔振条采用多自由度补偿技术,支持S400/D400/D600混联,热插拔结构可在10分钟内完成单元更换,冗余双DSP控制保障系统可靠性。其突破1Hz超低频隔振极限,动态负载波动自动修正功能,专为扫描探针显微镜设计,显著提升AFM扫描速度35%,是纳米计量与精密制造领域的优选方案。

主动隔振分类之重载型:大承载与全频段抑制的标杆
重载型平台针对大型精密仪器设计,需兼顾高承载与低频振动抑制。立得泰隔振的LVH-T15重载型主动隔振平台采用电磁作动器与四级空气弹簧复合技术,实现1-200Hz全频段六自由度振动抑制,500kg超大承载能力下低频衰减>35dB@5Hz,30ms阶跃扰动抑制性能使其成为TEM/SEM、半导体检测等场景的核心装备,显著提升冷冻电镜分辨率与FIB束流稳定性。

主动隔振分类的核心逻辑是场景需求与技术路径的深度匹配。无论是复合型、模块化还是重载型,其核心目标均为通过主动补偿实现振动能量的精准抵消。立得泰隔振凭借全系列主动隔振产品,覆盖从实验室到工业现场的多样化需求,为高精度场景提供从设计到落地的完整解决方案。
