光学减振平台：精密光学的“隐形守护者”

在量子实验、激光加工、半导体制造等高精度领域，微米级振动都可能让实验数据失真、生产流程中断。光学减振平台作为核心装备，通过物理阻尼或主动反馈技术，将振动能量转化为热能或反向抵消，为精密光学系统构建起“零干扰”的作业环境。

光学减振平台的减振原理

光学减振平台的核心在于隔振技术。被动光学减振平台的依赖材料阻尼特性，例如立得泰隔振的固态隔振光学平台POT-P系列，采用蜂窝结构台板与剪切型橡胶隔振层，将垂直/水平固有频率降至6.5-12Hz，可有效衰减中高频振动，适用于显微镜等低振动需求场景。

而主动光学减振平台的则通过电磁作动器实时监测并反向补偿振动，如立得泰隔振的LVH-T15重载型主动隔振平台，采用电磁作动器与四级空气弹簧复合技术，实现1-200Hz全频段六自由度振动抑制，500kg承载下5Hz频段隔振效率超90%，专为TEM/SEM等重载设备设计。

光学减振平台的优势体现在三大维度：

其一，振动隔离覆盖1-200Hz频段，可衰减地面振动、设备运行等复合干扰，例如激光干涉仪需亚纳米级稳定，立得泰隔振的MOT-F系列蜂窝平台通过空气弹簧将1-10Hz振动衰减90%以上；

其二，热稳定性控制出色，台面采用430高导磁不锈钢，配合蜂窝结构对称设计，将温度变化引起的形变控制在0.05mm/m²以内；

其三，模块化设计支持快速部署，立得泰隔振的蜂窝内芯光学平台台板MOT-F系列标准尺寸覆盖3000×1500mm至6000×1500mm，支持48小时快速交付，且台面布置25×25mm间距的M6螺纹孔阵列，兼容国际通用光学调整架。

在量子科技实验室，立得泰隔振的TA600桌式主动隔振台以10-20ms响应速度与95%@10Hz隔振效率，为共聚焦显微镜动态检测提供超稳定环境；

在半导体生产线，立得泰隔振的LVH-T15重载型主动隔振平台的30ms阶跃扰动抑制与在线模态分析功能，成为光刻机微米级定位精度的保障；

而在医疗生物领域，立得泰隔振的固态隔振光学平台POT-P系列的亚光台面与0.05mm/㎡平面度设计，可避免光路干扰，提升内窥镜校准精度。从基础物理研究到先进制造，光学减振平台已成为突破精度极限的核心工具。

以立得泰隔振为代表的专业供应商，正通过技术创新持续推动行业升级，为精密光学系统的稳定运行筑牢根基。