气浮隔振器技术全解:从结构创新到精密隔振的突破方案

气浮隔振器作为精密仪器隔振的核心部件,通过气体薄膜支撑负载,实现近乎零摩擦的振动隔离效果。其技术突破不仅体现在隔振效率的提升,更在于对复杂振动环境的适应性优化。本文以立得泰隔振品牌ZDT-P与ZDT-B系列为例,解析气浮隔振器的创新设计与应用场景。

一、气浮隔振器的外置阻尼与超薄气囊:ZDT-P系列的动态平衡术
普通气浮型隔振器ZDT-P系列采用外置可调阻尼器与超薄气囊结构,通过气动系统实时调节气囊压力,实现负载自动调平。其核心优势在于:

动态响应快:高精密气动系统可快速补偿振动能量,确保显微镜等设备在操作时的稳定性;

低频隔振强:垂直固有频率低至1.0Hz,有效隔离地面振动(5-100Hz频段隔振效率超85%);

模块化设计:支持选配脚轮,便于实验室设备移动与定位。
立得泰隔振的ZDT-P系列已广泛应用于半导体检测、细胞成像等领域,其低噪声(<40dB)特性尤其适合对声学敏感的实验室环境。

普通气浮型隔振器ZDT-P系列实物图

二、气浮隔振器单摆原理与复合气囊:ZDT-B系列的超精密隔振逻辑
摆杆气浮型隔振器ZDT-B系列基于单摆原理优化水平固有频率(1.0-1.5Hz),配合超薄复合气囊实现垂直方向(1.0-2.0Hz)的低频控制。其技术亮点包括:

共振风险抑制:外置阻尼器可手动调节阻尼系数,避免系统与外部振动频率耦合;

高频衰减显著:5Hz频段垂直/水平隔振效率分别达86-92%与88-94%,满足激光干涉仪等设备的纳米级精度需求;

静音运行:气囊与摆杆结构减少机械摩擦,运行噪声低于35dB。
立得泰隔振通过仿真优化气囊材料与摆杆角度,使ZDT-B系列在0.1-100Hz全频段内保持隔振性能稳定,成为量子计算、光刻机等领域的首选方案。

摆杆气浮型隔振器ZDT-B系列实物图

气浮隔振器的技术演进始终围绕“更低固有频率、更高阻尼可控性、更强环境适应性”展开。立得泰隔振通过ZDT-P与ZDT-B系列的差异化设计,覆盖了从常规显微镜到超精密激光设备的全场景需求,为科研与工业领域提供了可靠的振动控制解决方案。