低频隔振器原理解析：从主动隔振到被动动控振的精密技术

低频隔振器的核心价值：破解精密设备的“隐形杀手”
低频振动（0.5-5Hz）是精密制造、量子实验等领域的“隐形杀手”。例如，光刻机曝光过程中，1Hz的微振动会导致芯片良率下降15%；量子纠缠测量中，0.1Hz的地面振动可能使实验数据失效。低频隔振器通过主动或被动技术，将设备振动幅度降至纳米级，成为保障高精度场景稳定运行的核心装备。

低频隔振器的技术原理：频率错位与能量耗散的双重防御
低频隔振器的核心逻辑是“频率错位”——通过降低系统固有频率（fn），使激励频率（f）与fn满足f > √2×fn，从而阻断振动传递。例如，若fn=1Hz，则对>1.4Hz的振动隔离效果显著。

被动隔振器采用空气弹簧、摆杆等结构实现低固有频率，如立得泰隔振的摆杆气浮型隔振器ZDT-B系列通过气浮支撑与摆杆复合设计，将垂直固有频率降至1.0Hz，水平方向优化至1.2Hz，5Hz时隔振效率达92%。

主动隔振器则通过传感器实时监测振动，驱动执行器动态调节阻尼，进一步抑制低频共振。

立得泰隔振的创新实践：全场景适配的精密控振方案
作为全球领先的微振动控制供应商，立得泰隔振的低频隔振产品已覆盖半导体、量子科研、航空航天等领域。其气浮型隔振光学平台ZDT-P系列，垂直/水平固有频率低至1.0Hz，承载能力达300kg，适配光刻机、大型激光器等重型设备；

气浮摆杆型隔振光学平台ZDT-B系列则聚焦超精密场景，采用摆杆+空气弹簧复合结构，水平固有频率1.2Hz，隔振效率98%+，且支持快速安装与智能调平，成为量子实验、生物显微等领域的首选。

低频隔振器的应用场景：从实验室到工业现场的稳定基石
低频隔振器的应用已渗透至多个高精度领域：在半导体制造中，立得泰隔振的隔振平台将光刻机振动传递率降至1%以下，助力芯片良率提升20%；在量子科研中，其超低频隔振系统为冷原子实验、量子纠缠测量提供±0.1μm级的稳定环境；在航空航天领域，其产品可隔离火箭发射、卫星姿态调整中的微振动，保障光学系统的精准成像。