精密隔振光学平台揭秘:从技术到应用的超稳光学支撑方案

精密隔振光学平台揭秘:从技术到应用的超稳光学支撑方案

在光学实验与精密检测领域,振动干扰是影响设备性能的关键因素。精密隔振光学平台作为核心支撑设备,通过主动或被动隔振技术,为高精度仪器提供稳定运行环境,成为科研与工业不可或缺的“隐形守护者”。

主动精密隔振光学平台:重载场景的精准守护

针对电镜成像、半导体检测等重载设备,立得泰隔振推出的LVH-T15重载型主动隔振平台采用电磁作动器与四级空气弹簧复合技术,实现1-200Hz全频段六自由度振动抑制,尤其擅长消除0.5-5Hz建筑摇摆干扰。

其500kg超大承载能力与30ms阶跃扰动响应速度,可显著提升冷冻电镜分辨率与FIB束流稳定性,低频衰减>35dB@5Hz(对应90%隔振效率),成为重载精密仪器的首选方案。

LVH-T15重载型主动隔振平台实物图

被动精密隔振光学平台:超低频段的极致稳定

对于激光干涉、精密检测等对振动敏感的场景,立得泰隔振气浮型ZDT-P系列隔振平台通过空气弹簧与超薄复合气囊结构,结合多小孔准层流阻尼技术,将垂直/水平固有频率降至1.0~2.0Hz,隔振效率达78~95%(5-10Hz)。其静音空气压缩机(<50dB)与气动自动调平功能,配合0.05-0.1mm/㎡台板平面度,为高精度设备提供“零干扰”运行环境。

气浮型隔振光学平台ZDT-P系列实物图

精密隔振光学平台适配场景:从实验室到工业现场

精密隔振光学平台的应用场景覆盖广泛:在生命科学领域,LVH-T15可减少电镜成像中的微振动干扰;在半导体制造中,ZDT-P系列为光刻机提供亚微米级定位支撑;在激光加工场景,其超低频隔振性能确保光束稳定性。

从主动控制的智能响应到被动隔振的超低频抑制,精密隔振光学平台正以技术革新推动科研与工业的精度升级。立得泰隔振凭借全系列隔振解决方案,为高精度设备提供从基础支撑到动态优化的完整服务,助力用户突破振动瓶颈,释放精密仪器的全部潜能。