隔振减震装置技术全览：从主动补偿到结构优化的稳定方案

隔振减震装置是精密仪器稳定运行的核心保障，通过主动或被动技术隔离振动干扰，提升设备测量精度与可靠性。本文将从主动隔振与结构优化两大方向，解析其技术原理与应用价值。

主动隔振减震装置：动态补偿的精准突破

主动隔振装置通过传感器实时监测振动信号，驱动执行器产生反向补偿力。以立得泰隔振的VCM-S400主动隔振条为例，其采用多自由度补偿技术，突破1Hz超低频隔振极限，实现六自由度解耦补偿，动态负载波动时自动修正，隔振效率＞95%@10Hz，显著提升扫描探针显微镜的扫描速度。该产品模块化设计支持快速热插拔更换，冗余双DSP控制保障系统可靠性，是纳米计量领域的理想选择。