光学精密隔振平台类型梳理:从结构到场景的适配指南

光学精密隔振平台类型梳理:从结构到场景的适配指南

在量子通信、超分辨显微成像等前沿领域,微米级振动即可导致实验数据失效。光学精密隔振平台通过物理隔离与智能补偿技术,为光路系统构建“无感”稳定环境,其类型选择直接影响实验精度与设备寿命。

被动式平台:低成本高刚性的光学精密隔振平台

以蜂窝结构台面搭配橡胶隔振腿为核心,被动式平台通过材料形变吸收振动能量,固有频率通常在2-5Hz之间。其优势在于结构简单、无需外部能源,适用于干涉仪、光谱仪等低频振动场景。

主动式平台:动态补偿的智能解决方案

针对0.1-100Hz超低频振动,主动式平台通过压电陶瓷作动器与加速度传感器形成闭环控制,实时输出反向补偿力。立得泰隔振的LHV系列主动隔振模块支持±2μm位移补偿与智能载荷自适应(0.5-5ton)。适用于声学实验室、医疗影像、量子科研等高精度场景。

LHV系列主动隔振模块

气浮式平台:无摩擦的极致稳定选择

利用压缩空气形成0.01mm厚气膜支撑台面,气浮式平台彻底消除机械摩擦,固有频率低至0.8Hz。立得泰隔振的气浮型隔振光学平台ZDT-P系列采用空气弹簧与超薄复合气囊结构,结合多小孔准层流阻尼技术,实现垂直/水平固有频率1.0~2.0Hz,隔振效率达78~95%。

气浮型隔振光学平台ZDT-P系列

从被动隔振到主动补偿,再到气浮无接触支撑,光学精密隔振平台的技术演进始终围绕“更低频、更精准、更智能”展开。立得泰隔振通过材料创新与算法优化,持续突破物理极限,为半导体制造等领域提供关键基础设施支撑,推动光学精密化进入纳米级时代。